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什么是真空泵的漏率

系指在規(guī)定條件下，一種特定氣體通過漏孔的流量。

真空泵的漏率與極限壓力有直接關(guān)系，在極限壓力下運轉(zhuǎn)的真空泵中，它的氣體狀態(tài)已接近分子流，氣體的分子自由程較大，氣體分子不易穿透轉(zhuǎn)子與各相關(guān)零部件之間的間隙，也就是說此時間隙對極限壓力的影響已極其微小，能影響極限壓力的因素就只有漏率了。所謂真空泵達到了極限壓力，就是滲漏進入真空泵的氣體與真空泵抽出的氣體達到了動態(tài)平衡，進入了相對穩(wěn)定狀態(tài)。

真空泵漏率的測試方法有關(guān)閥測漏法和氦質(zhì)譜測漏法二種。